鍺烷GeH4
2023-09-22
鍺烷是一種無色、有毒的易燃?xì)怏w，帶有刺激性氣味。其可在空氣中自發(fā)燃燒。它可與氫、氬、氦、氮相互兼容，經(jīng)常與這些氣體混合運(yùn)送。鍺烷被用于外延硅和非晶硅、鍺、合金的沉積，且作為(Si, Ge)02薄膜等離子體增強(qiáng)化學(xué)汽相沉積的一種成分，為光電子的應(yīng)用提供了可控的折射率。通常以游離氣體而非自身壓力下的液化氣體進(jìn)行運(yùn)送。
容器信息 | ||
氣瓶尺寸 | 容量 |
21.1°C溫度下的壓力： a130、b118或c104磅/平方英尺
|
克 | ||
A030a | 1000 | |
規(guī)格 | |
鍺烷成分 | 電子等級(jí) |
二氧化碳 | < 2 ppm |
一氧化碳 | < 1 ppm |
氫氣 | < 50 ppm |
氮?dú)?/p> | < 2 ppm |
氧氣 + 氬氣 | < 0.5 ppm |
總碳?xì)浠衔?(如，甲烷) | < 1 ppm |
三鍺烷 | < 1 ppm |
保存期限: 1 年 | |
物理性質(zhì) | |
分子量 | 76.64 |
空氣中的可燃度極限 | 自燃的 |
氣體在1個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓（空氣=1）和70cF(21.1°C)溫度下的比重 | 2.65 |
氣體在1個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓和70cF(21.1°C)溫度下的密度 | 0.198lbs/ft3 (3.17g/l) |
氣體在1個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓和70cF(21.1°C)溫度下的比容 | 5.05ft3/lb (0.315l/g) |
在75.1 磅/平方英尺 (518 kPa)氣壓的熔點(diǎn) | -266.6℉ (-165.9°C) |
在1個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的沸點(diǎn) | -127℉ (-88.4°C) |
臨界溫度 | 94.7℉ (34.8°C) |
臨界壓力 | 805.3 磅/平方英尺 (55.5 bar) |
毒性 | |
時(shí)間加權(quán)平均閾限值> | 0.2 ppm |
半數(shù)致死濃度 | 50 ppm |
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